Miten poistaa Plasma Etch Polymer

Kun kemisti tai sähköasentaja haluaa muuttaa kemiallisia ja fysikaalisia ominaisuuksia pinta integroidun piirin vohveli, se tunnetaan plasma-käsittely. Yksi muoto tästä käsittelystä on nimeltään plasmaetsauksella, joka käyttää hohtopurkauksen (tunnetaan plasma) tietystä kaasua. Vastuuvapauden vapautuu sykintänä stream suurella nopeudella suoraan näytteen piiri. Lähde plasma, joka tunnetaan nimellä etch lajeja, voi ottaa yhden kahdesta ominaisuuksista - hintaan, jotka on luokiteltu ioneja, tai neutraalia, joka koostuu atomeista ja radikaaleja. Kuten etch prosessointi alkaa, ei vapauta virtasi päälle piiri luo haihtuvia etch jäännös seurauksena välistä kemiallista reaktiota etsattu materiaalin ja etch lajien luoma plasmassa. Fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet piirin lopulta on muuttunut atomien plasman stream liittää tai tunkeutua pintaan. Riippuen kaasu, jota käytetään plasman virta, plasmaetsaus polymeeri voi muodostua jäännös prosessin jälkeen. Asiat Tarvitset
Integroidut kiekkojen piirit
plasmaetsaus polymeeri Remover (PRX-127)
Raskaat suojakäsineitä
kirurgiset naamio
Suojalasit tai suojalasit
kuoriminen säiliöt
Ionivaihdettu (DI) vettä huuhtele säiliö
linko tai spin-huuhtele kuivausrumpu
Näytä lisää Ohjeet
1

plasmaetsaus polymeeri todennäköisesti muodostuu käytön jälkeen plasmaetsaus käsittely fluorihiilipohjainen kaasuja kuten hiilidioksidia hydrotrifluoride ja oktafluoripropaani. Nämä kaasut luoda tyydyttymättömien yhdisteiden ja plasmassa, jotka sitten siirretään integroidun piirin kiekkoja. Nämä on poistettava, jotta edelleen plasmakäsittelylaitteeseen jatkaa.
2 Take äärimmäistä varovaisuutta noin vaarallisia kemikaaleja.

Plasma etch polymeerin poisto, joka tunnetaan nimellä PRX-127, on kemiallinen yhdiste, joka koostuu elementtien eetteriä, sulfoksidi ja hydroksidi, ja on erittäin vaarallista hengittää sisään tai kosketa. On suositeltavaa, että ennen kuin alat käyttää tätä tuotetta, käsineet, silmälasien ja maski on käytettävä. Märkä-penkki Upotusprosessi on yksi turvallisempia tapoja käsitellä tätä yhdistettä, ja vaatii hyvin vähän fyysistä vuorovaikutusta.
3

Täytä kaksi strippaus säiliöitä, jotka on suunniteltu erityisesti märkä-penkki prosessi PRX-127-liuosta ja tuoda lämpötilassa 70-90 astetta. Aseta vaikuttaa piirin kiekkojen varovasti yksi tankit käyttämällä suojakäsineitä. Kiekkoja pitäisi pysyä ratkaisu vähintään viisi minuuttia, mutta enintään 20 minuuttia optimaalisen vaikutuksen. Mekaaninen tai Sonic-pohjainen levottomuus menetelmää suositella ensimmäisen kylvyn.
4

Siirrä kiekot ensimmäisestä strippaus säiliön toisen kerran kylpy sykli on valmis, ja liota kiekot uudelleen viiden 20 minuutissa lisäsekoitus. Tämä toinen kylpy poistaa olemassa olevia kerroksia polymeerin alla jäännös pinnalla kiekkojen.
5 Ionivaihdettu vesi on täysin puhdasta vettä, jossa ei ole muita mineraaleja.

Poista kiekkojen PRX-127 ratkaisun ja siirtää ne kolmannelle tankissa on SVC-300 huuhtele, ratkaisu, jota käytetään pääasiassa maalin poistoon. Se on melko turvallista käyttää, koska se on myrkytön ja palamaton eikä vahingoita kiekkoja. Kiekkoja pitäisi pysyä tämän ratkaisun kahdesta kolmeen minuuttia. Siirrä kiekot osaksi lopullista ratkaisua - ionivaihdettua vettä - sisällä huuhtele säiliö kuudesta kahdeksaan jaksoa ja sitten linko tai spin-huuhtele kuivausrumpu poistaa kaikki jäljet ​​ratkaisu. Kiekkojen tulisi olla täysin vapaata polymeerien, ja ovat nyt turvallista käyttää uudelleen muissa plasma etsaus käsittelyä.